Hay muchos tipos de óxido de aluminio en el mercado, que se utilizan en diferentes campos.
Para el lapeado de obleas de silicio, generalmente use óxido de aluminio calcinado blanco de plaquetas, que tiene forma de placa y la especificación es la siguiente:
COMPOSICIÓN QUÍMICA PROMEDIO (TÍPICA)
Al2O3 > 99,0 % _
SiO2 < 0,2 %
Fe2O3 <0,1 %
Na2O < 1%
PROPIEDADES FÍSICAS ( TÍPICO A L)
Dureza Mohs 9.0
Gravedad específica >3,9 g/cm 3
Forma Forma de placa
DISTRIBUCIÓN DE TAMAÑO DE PARTÍCULA
TAMAÑO | D0 | D3 | D50 | D94 |
PESO/WCA40 | <77,6 | 39-44,6 | 27.7-31.7 | 18-20 |
PWA/WCA35 | <64,2 | 35,4-39,8 | 23.8-27.2 | 15-17 |
PESO/WCA30 | <50,4 | 28.1-32.3 | 19.2-22.3 | 13.4-15.6 |
PWA/WCA25 | <40,1 | 24.4-28.2 | 16.1-18.7 | 9.6-11.2 |
PESO/WCA20 | <32,0 | 20.9-24.1 | 13.1-15.3 | 8.2-9.8 |
PESO/WCA15 | <25,2 | 14.8-17.2 | 9.4-11 | 5.8-6.8 |
PESO/WCA12 | <20,3 | 11.8-13.8 | 7.6-8.8 | 4.5-5.3 |
PWA/WCA09 | <16,3 | 8.9-10.5 | 5.9-6.9 | 3.3-3.9 |
PWA/WCA05 | <12.5 | 6.6-7.8 | 4.3-5.1 | 2.55-3.05 |
PWA/WCA03 | <10,0 | 4.8-5.6 | 2.8-3.4 | 1.5-2.1 |