¿Qué tipo de óxido de aluminio se utiliza para el lapeado de obleas de silicio?

Hay muchos tipos de óxido de aluminio en el mercado, que se utilizan en diferentes campos.

Para el lapeado de obleas de silicio, generalmente use óxido de aluminio calcinado blanco de plaquetas, que tiene forma de placa y la especificación es la siguiente:

COMPOSICIÓN QUÍMICA PROMEDIO (TÍPICA)             

Al2O3 99,0                                                  % _

SiO2 <                                                   0,2 %

Fe2O3 <0,1 %

Na2O 1%

PROPIEDADES FÍSICAS ( TÍPICO A L)  

Dureza Mohs 9.0

Gravedad específica >3,9 g/cm 3

Forma Forma de placa

DISTRIBUCIÓN DE TAMAÑO DE PARTÍCULA

TAMAÑOD0D3D50D94
PESO/WCA40<77,639-44,627.7-31.718-20
PWA/WCA35<64,235,4-39,823.8-27.215-17
PESO/WCA30<50,428.1-32.319.2-22.313.4-15.6
PWA/WCA25<40,124.4-28.216.1-18.79.6-11.2
PESO/WCA20<32,020.9-24.113.1-15.38.2-9.8
PESO/WCA15<25,214.8-17.29.4-115.8-6.8
PESO/WCA12<20,311.8-13.87.6-8.84.5-5.3
PWA/WCA09<16,38.9-10.55.9-6.93.3-3.9
PWA/WCA05<12.56.6-7.84.3-5.12.55-3.05
PWA/WCA03<10,04.8-5.62.8-3.41.5-2.1

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