Especificación de PWA para lapear oblea de silicio
PWA = Alúmina blanca plaquetaria
Zhengzhou Haixu Abrasives Co.,ltd fue fundada en 1999.
A partir de 2018, comenzamos a producir alúmina blanca en plaquetas, incluido el tamaño PWA40 PWA35 PWA25 PWA20 PWA15 PWA12 PWA9 PWA5 PWA3.
La especificación de PWA para lapear obleas de silicio es la siguiente:
PSD (distribución del tamaño de partículas)
Tamaño | dv-0 | dv-3 | dv-50 | dv-94 |
MCA15 | <25,2 | 14.8-17.2 | 9.4-11 | 5.8-6.8 |
MCA12 | <20,3 | 11.8-13.8 | 7,6-8,8 | 4.5-5.3 |
MCA09 | <16.3 | 8,9-10,5 | 5.9-6.9 | 3.3-3.9 |
Composición química
AL2O3 | SiO2 | Fe2O3 | Por2De |
>99,0 | <0,2 | <0,1 | <1 |