TAMAÑOS DE ÓXIDO DE ALUMINIO PARA LAPEADO DE OBLEAS DE SILICIO
Existen muchos tipos de óxido de aluminio en el mercado.
Debido a la técnica de fabricación, existen óxido de aluminio calcinado y óxido de aluminio fundido.
Según la fase cristalina, existen α-óxido de aluminio y β-óxido de aluminio.
Entonces, ¿qué tipo de óxido de aluminio se utiliza para pulir la oblea de silicio?
Es un tipo de óxido de aluminio calcinado con plaquetas blancas, zhengzhou haixu abrasive co., ltd, lo produjo durante muchos años, cuya calidad es similar a la de JAPÓN FUJIMI y USA Microgrit WCA.
¿Los tamaños que producen los abrasivos haixu son los siguientes?
| TAMAÑO | D0 | D3 | D50 | D94 |
| HX-PWA/WCA40 | <77,6 | 39-44,6 | 27,7-31,7 | 18-20 |
| HX-PWA/WCA35 | <64,2 | 35,4-39,8 | 23.8-27.2 | 15-17 |
| HX-PWA/WCA30 | <50,4 | 28.1-32.3 | 19.2-22.3 | 13.4-15.6 |
| HX-PWA/WCA25 | <40,1 | 24.4-28.2 | 16.1-18.7 | 9.6-11.2 |
| HX-PWA/WCA20 | <32.0 | 20.9-24.1 | 13.1-15.3 | 8.2-9.8 |
| HX-PWA/WCA15 | <25,2 | 14.8-17.2 | 9.4-11 | 5.8-6.8 |
| HX-PWA/WCA12 | <20.3 | 11.8-13.8 | 7,6-8,8 | 4.5-5.3 |
| HX-PWA/WCA09 | <16.3 | 8,9-10,5 | 5.9-6.9 | 3.3-3.9 |
| HX-PWA/WCA05 | <12,5 | 6.6-7.8 | 4.3-5.1 | 2,55-3,05 |
| HX-PWA/WCA03 | <10.0 | 4.8-5.6 | 2.8-3.4 | 1.5-2.1 |
Allí, HX-PWA/WCA09, HX-PWA/WCA12 y HX-PWA/WCA15 se utilizan ampliamente para lapear obleas de silicio.
